Produktbroschüre
µPhase® 3 (Englisch)
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µPhase® & µShapeTM (Englisch)
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µShapeTM 8 (Englisch)
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µPhase® Objective (Englisch)
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µPhase® Multicolor (Englisch)
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µPhase® PLANO DOWN (Englisch)
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µPhase® PLANO UP / µPhase® SPHERO UP (Englisch)
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Phase® ST / µPhase® ST+R (Englisch)
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µPhase® UNIVERSAL (Englisch)
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µPhase® VERTICAL (Englisch)
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Phase® VERTICAL PRO (Englisch)
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Whitepaper
Automatisierte Messung von Kontaktlinsenformen und Werkzeugen (Englisch)
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µPhase®
Interferometer zur Messung der Oberflächen- und Wellenfrontdeformation
μPhase® Interferometer erlauben die schnelle und hochpräzise Messung der Oberflächen- und Wellenfrontdeformation reflektierender und transmittierender Bauteile aus Glas, Kunststoff, Metall, Keramik, o. ä. Die objektiven und zuverlässigen Ergebnisse erfüllen die höchsten Anforderungen des Qualitätsmanagements. Durch das berührungslose Messverfahren können Beschädigungen des Prüflings ausgeschlossen werden.
Hochpräzise
Die hochpräzise Messung erfolgt über die komplette Oberflächen- und Wellenfrontdeformation von planen, sphärischen, zylindrischen, torischen und asphärischen Bauteilen.
Universell
µPhase® kann universell für alle Oberflächen mit eine Reflektivität zwischen 0,2 % und 100 % aus z. B. Glas, Kunststoff, Metall und Keramik eingesetzt werden.
Zuverlässig
Die objektive digitale Messung verhindert Einflüsse des Bedieners. Ebenso sorgt das robuste und staubdichte Gehäuse für eine hohe Zuverlässigkeit.
Produktübersicht
μPhase® Interferometer sind sehr kompakt gebaute, kleine und leichte digitale Geräte, die sich in nahezu jeder Arbeitsumgebung verwenden lassen. Unterstützt durch die Software μShape™ lassen sich umfangreiche Messauswertungen vornehmen.
Die Grundlage der Interferometriemessung bei TRIOPTICS bietet der μPhase®-Sensor. Dieser ist, entsprechend den unterschiedlichen Messaufgaben, modular mit verschiedenen Messdurchmessern und Stativen konfigurierbar. Ebenso können kundenspezifische Lösungen kostengünstig angeboten werden.
µPhase® 3.1/3.2/3.3.
Hoch flexibel
Der Twyman-Green-Interferometer-Sensor µPhase® ist mit identischer Bauformen für unterschiedliche Auflösungen erhältlich und kann in Ihrem Messaufbau integriert werden.
Möglichkeit der Fokussierung und der Anpassung der Oberflächenreflektivität (nur µPhase® 3.3)
Integration in Fertigungsmaschinen und Produktionslinien problemlos möglich
µPhase® PLANO DOWN
Kompakter Aufbau
µPhase® PLANO DOWN eignet sich mit seinem kompakten Aufbau für die Messung planer Komponenten in Forschung und Entwicklung sowie in der Produktion.
Messbereich für Durchmesser bis zu 150 mm
Prüflinge werden auf der Granitplatte platziert und von oben gemessen
In der Regel keine Schwingungsisolierung erforderlich, da das Gerät eine massive Granitbasis aufweist
Kompakte Bauweise und geringer Platzbedarf
Einfache Handhabung durch höhenverstellbare Säulen
Kann dank intuitiver und einfacher Handhabung auch durch ungeschultes Personal bedient werden
µPhase® PLANO UP
Planlinsen in der Produktion
Für die kosteneffektive Qualitätskontrolle von optischen Planflächen in der Produktion ist das µPhase® PLANO UP die perfekte Wahl.
Messbereich für Durchmesser bis zu 100 mm
Kompakte Bauweise für geringen Platzbedarf zur Platzierung direkt neben der Produktionsmaschine
Prüflinge werden auf der Oberseite des Geräts auf einer Ringschneide oder Dreipunktauflage positioniert und von unten gemessen
Vibrationsunempfindlich
Bei Serienmessungen ist keine zwischenzeitliche Neuausrichtung erforderlich
Kann dank intuitiver und einfacher Handhabung auch durch ungeschultes Personal bedient werden
µPhase® SPHERO UP
Sphären in der Produktion
Sphärischer Oberflächen lassen sich in der Produktion schnell und kosteneffektiv mit dem µPhase® SPHERO UP kontrollieren.
Messbereich für Durchmesser bis zu 50 mm
Kompakte Bauweise für geringen Platzbedarf zur Platzierung direkt neben der Produktionsmaschine
Prüflinge werden auf der Oberseite des Geräts auf einer Ringschneide oder Dreipunktauflage positioniert und von unten gemessen
Vibrationsunempfindlich
Bei Serienmessungen ist keine zwischenzeitliche Neuausrichtung erforderlich
Kann dank intuitiver und einfacher Handhabung auch durch ungeschultes Personal bedient werden
µPhase® ST/ST+R
Flexibel und kosteneffektiv
Das µPhase® ST/ST+R kann in Forschung und Entwicklung sowie in der Produktion flexible und kosteneffektiv eingesetzt werden.
Messungen von planen und sphärischen Prüflingen
Tischaufbau in kompakter Bauweise mit vertikalem Messaufbau für geringen Platzbedarf
Optimale Prüflingsausrichtung durch integrierten Kipp- sowie X-Y-Verschiebetisch
Vertikale Achse mit Grob- und Feinverstellung für hochpräzise Justage
Optional: digitale Messeinheit zur Radiusmessung
µPhase® VERTICAL
Vielseitig
Mit seiner hohen Flexibilität eignet sich das voll ausgestattete µPhase® VERTICAL für die Fertigung, die Werkstatt und das Labor.
Motorisierte vertikale z-Achse
Einzigartiges Design für alle Arten von Reflexions- und Transmissionsmessungen
Integrierte automatische Radienmessung
Kompakte Bauweise mit vertikalem Messaufbau für geringen Platzbedarf
Optimale Prüflingsausrichtung durch integrierten Kipp- sowie X-Y-Verschiebetisch
Modulare Bauweise zur Optimierung an die Messbedürfnisse
Optional: Verwendung von CGHs für asphärische, torische oder zylindrische Oberflächenmessungen
Optional: Verwendung eines Tray-Halters und eines motorisierten X-Y-Schlittens zur automatischen Form- und Radienmessung vieler Prüflinge in nur einem Durchgang
µPhase® UNIVERSAL
Höchste Variabilität
Der universelle Aufbau und die modularen Vorrichtungen des µPhase® UNIVERSAL bieten höchste Variabilität für Forschung und Entwicklung.
2-, 4- oder 6-Zoll-Messsystem zur Prüfung planer und sphärischer Oberflächen
Horizontaler Aufbau für Messungen langer Radien
Kompatibel mit anderen handelsüblichen 4-Zoll-Objektiven
Optionaler CGH-Halter für die Messung von Asphären, Zylindern oder torischen Oberflächen
MTF- und Homogenitätsmessungen auf Anfrage
μPhase® Customized Solutions
Kundenspezifische Lösungen
Das μPhase® ist aufgrund seines modularen Aufbaus und des kompakten Designs ein äußerst vielseitiges Interferometer – auch für besondere Anforderungen.
Kundenspezifische Lösungen für besondere Anwendungsbereiche auf Basis von Standardkomponenten
Entwicklung zusätzlicher maßgeschneiderter Komponenten und Software-Module
TRIOPTICS bietet für Anwendungen, die über die gewöhnlichen Messanforderungen hinausgehen, umfassende Unterstützung zur Entwicklung anwendungsspezifischer Systeme. Das μPhase® ist aufgrund seines modularen Aufbaus und des kompakten Designs ein äußerst vielseitiges Interferometer. Das bedeutet, dass sich kundenspezifische Lösungen für besondere Anwendungsbereiche auf Basis von Standardkomponenten umsetzen lassen. Wir wählen die benötigten Komponenten aus und lassen durch unsere Anwendungs- und Software-Ingenieure bei Bedarf zusätzliche maßgeschneiderte Komponenten und Software-Module entwickeln.
Anwendungen
Unsere µPhase® Interferometer ermöglichen folgende Messungen und Anwendungen:
- Messung planer, sphärischer, zylindrischer, torischer und asphärischer Oberflächen in Reflexion
- Messung des absoluten Radius von sphärischen, torischen und asphärischen Linsen
- Prüfung adaptiver Spiegel
- Messung der Wellenfrontdeformation von transparenten Prüflingen
- Messungen von Kontaktlinsen und Formwerkzeugen
- Schnelle Offline- oder Online-Messung des Tool-Offsets von ultrapräzisen Diamantdrehmaschinen nach dem Werkzeugwechsel
- Prüfung zahlreicher hochpräziser nicht-optischer Komponenten
- Anwendungen im Automobilsektor
- Medizinische Anwendungen
- Benutzerdefinierte Ausschuss-Kriterien für eine anwendungsorientierte Qualitätskontrolle im Vergleich zu Design-Daten oder Musterprüflingen
- Hohe Transparenz der Messergebnisse durch den Export der Messdaten jeder einzelnen Linse ermöglicht eine optimale Produktionssteuerung in Hinblick auf Materialdefekte und Produktionsfehler
Software
µShape™
Interferometer Software
Mit der Software µShape™ ist das µPhase® optimal für den Einsatz sowohl in der Produktion als auch in Forschung und Entwicklung gerüstet. Die Software steuert die Messung, stellt umfangreiche Analysemöglichkeiten zur Verfügung und bietet eine vollständige Dokumentation. Messvorlagen bieten maximale Transparenz über den Messprozess und erlauben ein schnelles Erfassen der Prüfergebnisse.
Die klar strukturierte, menü-basierte Benutzeroberfläche von μShape™ wird dabei immer dem umfassenden Einsatz des µPhase® gerecht und lässt sich über die verfügbaren Module in unterschiedlichster Weise erweitern. Diese Module können jederzeit, auch noch nach Kauf des µPhase®-Systems, ergänzt werden.
Die µShape™ Software ist primär für den Betrieb des µPhase® entwickelt worden, kann aber auch zum Betrieb von Labor- und Werkstattinterferometern anderer Anbieter genutzt werden. Die Entwicklung von kundenspezifischen Funktionen ist möglich.
- Mehrere Zugangslevel bieten benutzerspezifische Zugriffsmöglichkeiten, vom Administrator bis zum Anwender in der Produktion
- Umfassende, kontextspezifische Direkt-Hilfe
- Einfache Bedienung und Verringerung des Schulungsbedarfs der Nutzer durch leicht vorkonfigurierbare Vorlagen für jede Art von Messaufgabe und Auswertung
- Komfortable Reanalyse-Option gespeicherter Messungen ohne Neumessung
- Einfache Speicherung von Grafiken in verschiedenen Grafikformaten (bmp, jpg, etc.)
- Schneller Daten-Export einzelner Parameter oder ausgewählter Datenfelder als Textdatei, Binärdatei oder anderen gebräuchlichen Dateiformaten (z. B. QED, Zygo XYZ, DigitalSurf, INT) zur externen Verarbeitung
- Das Messprotokoll bietet eine übersichtliche Gesamtdarstellung der Ergebnisse und lässt sich vielseitig konfigurieren, inkl. Kunden-Logo
- Übersichtliche Aufbereitung der Programm-Modi durch die separate Visualisierung von Kalibrier- und Messprozessen
- Umfassende Darstellung der Messparameter als Messwert, in grafischen 2D- bzw. 3D- und freiwählbaren Schnitt-Grafiken (1D) einschließlich des integrierten Live-Kamerabildes
- Schnelle Messung von sich wiederholenden Teilen durch Speicherung sämtlicher Parameter und Einstellungen, einschließlich Fenstergröße und -position, mit Muster-Daten in einer μShape™-Programmdatei
- Immer auf dem aktuellen Stand der Technik durch kontinuierliche Weiterentwicklung mit regelmäßigen Updates – auf Anfrage oder als Software-Flatrate
- Mit Windows 10 benutzbar
„Aspheres“: Asphärenanalyse in sphärischen bzw. CGH-Setups
- Das Asphären-Modul ermöglicht die Auswertung starker Asphären in einem asphärischen Setup mithilfe eines computergenerierten Hologramms (CGH) sowie schwacher Asphären in sphärischen Setups. Die Beschreibung der Asphäre kann eingegeben und gespeichert werden. Dabei werden verschiedene Formate (rotationssymmetrisch) unterstützt. Verbleibende Justierfehler sowie systematische Setup-Fehler werden durch eine asphärischen Justagefit kompensiert
„Cylinder“: Zylinderanalyse
- Das Zylinder-Modul analysiert zylindrische Prüflinge in einem zylindrischen Setup (mit CGH). Verbleibende Justagefehler werden durch einen zylindrischen Justagefit entfernt.
„Extern Interface“: Externe Kommunikationsschnittstelle
- Das externe Schnittstellen-Modul ermöglicht die Kommunikation zwischen µShape™ und externer Software wie LabVIEW™ zur Steuerung des Interferometers durch externe Programme, z. B. innerhalb eines automatisierten Systems
„FastFringe“: Statische Streifenanalyse
- Dieses Modul ermöglicht die Auswertung eines einzelnen Interferogramms für Messungen in instabilen Umgebungen oder mit Interferometern ohne Phasenschiebeeinheit.
„Fiber connector“: Glasfaserstecker-Analyse
- Die Glasfaserstecker-Erweiterung ermöglicht die Auswertung der Endflächen von Glasfaser-Anschlüssen des Typs PC (Physical Contact = Körperkontakt) gemäß internationaler IEC-Konvention. Die Hauptparameter werden mit nur einer Messung erhoben und optional mit Gut/Schlecht-Auswertung angezeigt.
„Homogeneity“: Messung der Homogenität transparenter Prüflinge
- In einem separaten Programmmodus können beide den optischen Weg durch den Prüfling beeinflussenden Aspekte, d. h. die Homogenität (Variation des Brechungsindexes) einerseits und die Dickenvariation anderseits, bestimmt werden.
„Math Mode“: Mathematikmode
- Dieser Programm-Modus erlaubt es, unterschiedliche Datenzuordnungen in Kombination mit mathematischen Berechnungen zu einer zusätzlichen Ergebniszuordnung auszuwerten. Matrix-Berechnungen sind nicht möglich.
„Multiple apertures“: Analyse mehrerer-Teilflächen in einer Messung
- Dieses Modul ermöglicht die gemeinsame Messung und Analyse von nicht miteinander verbundenen Einzelaperturen innerhalb eines Sichtfelds, z. B. für die Messung von Prüflingen auf Polierköpfen.
Die Messbarkeit mehrerer Einzelaperturen ermöglicht auch eine Keilwinkel-Analyse. Mit diese Analyse können der Keilwinkel planer Spiegel sowie der optische Keil planer Übertragungsplatten in einem Arbeitsschritt bestimmt werden.
„Multiple statistics“: Identische Statistik-Analyse auf mehreren Teil-Aperturen
- Sind in der Prüflingsspezifikation unterschiedliche Werte für verschiedene Teilbereiche desselben Prüflings definiert worden, ermöglicht das MultiStat-Modul die identische Auswertung aller Bereiche innerhalb einer einzigen Messung. Die Ergebnisse für die einzelnen Bereiche werden separat ausgegeben.
„MTF/PSF“: MTF-Analyse
- Im Bereich der Optik wird die MTF verwendet, um die Qualität optischer Systeme zu beschreiben. Das Modul ermöglicht die Bestimmung der MTF fokaler bzw. afokaler optischer Bauteile und Systeme.
„Prisms“: Prismen-Analyse
- Winkelfehler an 90°- und Tripelprismen können interferometrisch gemessen werden, indem die durch Winkelabweichung an 90°- bzw. 0°-Zielwinkeln beobachteten Interferenzmuster ausgewertet werden.
„Roughness/PSD”: Analyse von Rauheit und PSD
- Mithilfe dieses Moduls können sowohl die Power Spectral Density (PSD) als auch Rauhheitsparameter auf frei definierbaren geraden Schnitten bestimmt werden.
„Sample Normal Data“: Berücksichtigung bekannter Prüflingsabweichungen
- Die Verwendung von Prüflingsdaten (Sample Normal Data – SND) ermöglicht es, zusätzliche Fehler des Prüflings während der Prüfung zu berücksichtigen, z. B. Abweichungen aufgrund der optischen Konstruktion (konstruktionsbedingte Nennwerte)
Technische Daten
| Parameter | µPhase® PLANO DOWN | µPhase® PLANO UP | µPhase® SPHERO UP | µPhase® ST / ST+R | µPhase® VERTICAL | µPhase® VERTICAL + Tray | µPhase® UNIVERSAL |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Benutzung | Produktion | Produktion | Produktion | R&D, Produktion | R&D, Produktion | Produktion | R&D |
| Prüflingstyp | Plan | Plan | Sphärisch | Plan Sphärisch | Plan Sphärisch Torisch Asphärisch Zylindrisch | Sphärisch | Plan Sphärisch Torisch Asphärisch Zylindrisch |
| Prüflingsgröße (Messbereich) | Verschiedene Version bis max. Ø 150 mm | Verschiedene Versionen bis max. Ø 150 mm | Max. Ø 50 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv | Max. Ø 50 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv | Max. Ø 100 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv | Max. Ø 50 mm | Max. Ø 100 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv |
| Max. Prüflingsgewicht | 5 kg | 1,5 kg (abhängig von Konfiguration) | 1,5 kg (abhängig von Konfiguration) | 1,5 kg | 1,5 kg | 1,5 kg | 1,5 kg |
| Justierelemente | Manuelle Kippung | Manuelle Kippung | Manuelle XY-Justage, Kipptisch und z-Fokussierung (wenige mm) | Manuelle XY-Justage, Kipptisch und z-Fokussierung | Manueller Kipptisch Manueller XY-Tisch Motorisierte, PC-gesteuerte Z-Achse | Motorisierte, PC-gesteuerte X/Y/Z-Achse | Manueller Kipptisch Manueller XY-Tisch Manuelle Z-Achse |
| Prüfbereich Radienmessung | Nicht verfügbar | Nicht verfügbar | Typischerweise 10 mm ... 200 mm Relative Radiusmessung im Vergleich gegen ein Radiennormal, Bereich abhängig von Prüfobjektiv und Halter | ca. 220 mm Absolute Radiusmessung mit Messtaster (analog oder digital) | Ca. 300 mm integrierte, automatisierte absolute Radiusmessung | Ca. 250 mm integrierte, automatisierte absolute Radiusmessung | Bis zu 2 m, abhängig von Prüfobjektiv und Länge der Radienmessschiene integrierte absolute Radiusmessung Für lange Radien geeignet |
| Genauigkeit Radienmessung | Abhängig von der Genauigkeit des Radiennormals | Abhängig vom Längenmesstaster: 0,5-5 µm | Abhängig vom Längenmesstaster: 0,1-5 µm | Abhängig vom Längenmesstaster: 0,1-5 µm | 30 µm | ||
| Abmessungen (H x B x T) | Grundfläche: S: 300x300 mm (freie Arbeitsfläche 180x180 mm) L: 440x440 mm (freie Arbeitsfläche 330x330 mm) Freie Arbeitshöhe: 110 / 155 / 200 mm | 500x200x200 mm | 500x200x200 mm | 500x300x400mm Verfahrbereich zwischen 160-300mm (abhängig von Konfiguration) | 830x350x420 mm | 830x400x500 mm | 500x2500x400 mm (Breite abhängig von der Länge der Radienmessschiene) |
| Gewicht | S: 25 kg L: 45 kg | 5-20 kg (abhängig von der Konfiguration) | 5-20 kg (abhängig von der Konfiguration) | 20 kg | 55 kg | 55 kg | 30 kg (abhängig von Konfiguration) |
| Typ | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät |
| Optionale Messmöglichkeiten | Transmissionsmessung | CGH Halterung für die Messung von Asphären, Cylinder oder torischen Oberflächen MTF Messungen Transmissionsmessungen | CGH Halterung für die Messung von Asphären, Cylinder oder torischen Oberflächen MTF Messungen Transmissionsmessungen |
Technische Daten µPhase® Sensor
| Parameter | µPhase® 3.1 | µPhase® 3.2 | µPhase® 3.3 | µPhase® 3.3 (FIZ) |
|---|---|---|---|---|
| Kameraauflösung | 608 x 608 Pixel | 1216 x 1216 Pixel | 1216 x 1216 Pixel | 1216 x 1216 Pixel |
| Reflexionseinstellungen | feste Einstellungen, geeignet für 4 % … 80 % | feste Einstellungen, geeignet für 4 % … 80 % | 0.5 %, 1 %, 4 %, 80 % | 0.0 %, 1 %, 4 %, 80 % |
| Messwellenlänge | 632.8 nm andere auf Anfrage | 632.8 nm, andere auf Anfrage | 632.8 nm, andere auf Anfrage | 632.8 nm, andere auf Anfrage |
| Fokussiermöglichkeit | Nein | Nein | Ja | Ja |
| Abmessungen (H x B x T) | 121 mm x 97 mm x 57 mm | 121 mm x 97 mm x 57 mm | 121 mm x 97 mm x 57 mm | 121 mm x 97 mm x 57 mm |
| Gewicht | 1,1 kg | 1,1 kg | 1,1 kg | 1,1 kg |
| Typ | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung Konvertierbar zur Fizeau-Messmethode |
| PV Wiederholgenauigkeit | λ/400 | λ/400 | λ/400 | λ/400 |
| RMS Wiederholgenauigkeit | λ/1200 | λ/6500 | λ/6500 | λ/6500 |
| Messungenauigkeit mit PC/unterstützter Auswertung | λ/20 andere auf Anfrage | λ/20 andere auf Anfrage | λ/20 andere auf Anfrage | λ/20 andere auf Anfrage |
Upgrades & Zubehör
- Austausch des µPhase® Sensors von µPhase® 3.1 auf µPhase®3.3 für eine Erhöhung der Kameraauflösung von 608 x 608 Pixel auf 1216 x 1216 Pixel
- Standardwellenlänge 632,8 nm, Wellenlängen zwischen 355 nm und 1100 nm auf Anfrage möglich
- Horizontal- oder Vertikal-Stative
Die µPhase®-Grundgeräte und die Planobjektive verfügen über einen Bajonettanschluss, der einen schnellen und leichten Wechsel zwischen verschiedenen Systemaufbauten ermöglicht. - Plane und sphärische Kalibrierflächen in verschiedenen Durchmessern
- Unbeschichtet
- Verspiegelt
- Lizenz für die Offlineanalyse und Dokumentation an Büroarbeitsplätzen ohne direkten Zugriff auf die µPhase®-Hardware
|  |
µLens SPHERO Objektive in Kombination mit der µLens SPHERO 10 | |
µLens SPHERO Objektive in Kombination mit der µLens SPHERO 50 | |
Partnerschaft mit InterOptics
Unsere exklusive Partnerschaft mit der Firma InterOptics, LLC bietet zusätzliche Möglichkeiten. So vermarkten wir in Deutschland und ausgewählten Ländern neben unserem µPhase® auch das Interferometer OptoFlat™ – einen ausgesprochenen Spezialisten für Planoptiken.
OptoFlat™
Spezialist für Planoptiken
Das Kurzkohärenzinterferometer OptoFlat™ ist spezialisiert auf die Messung von planen Optiken.
Ein für die Produktion sowie für die Forschung geeignetes Interferometer für plane Flächen mit Sub-Nanometer-Präzision
LED-Beleuchtungssystem minimiert kohärente Artefakte
Berührungsloser, gestengesteuerter Sensor startet die Messung ohne TastatureingabenI
Knowledge Base
Interferometer
Twyman-Green-Aufbau
Der flexibelste Interferometer-Aufbau
Ein Twyman-Green-Interferometer ist ein modifiziertes Michelson-Interferometer. Hier ist der Strahlteiler von der Bezugsfläche getrennt. Der Vorteil dieser Konfiguration besteht in größerer Flexibilität, weil beide Interferometerarme unabhängig voneinander eingestellt werden können. Die Intensitäten von Bezugsarm und Prüfarm können also problemlos aneinander angepasst werden, um maximalen Streifenkontrast zu erzielen. Nur ein maximaler Streifenkontrast ermöglicht eine maximale Auflösung in der Tiefe. Diese Kontrastanpassung erlaubt das Messen von Prüflingen mit unterschiedlichen Reflexionsgraden mit maximalem Kontrast und erweitert das Anwendungsspektrum ganz erheblich. Die Bezugsfläche kann eine Oberfläche sein, die kostengünstig und unabhängig von der Prüflingsgröße ist. Die Anpassung an die Prüflingsgröße wird durch Anordnung konventioneller Strahlformungsoptik im Prüfarm erzielt. Im Gegensatz zu der Strahlformungsoptik, die in Fizeau-Interferometern verwendet wird, benötigt diese Optik keine teure Fizeau-Oberfläche als letzte Oberfläche.
Infolge dieser Flexibilität werden die Interferenzmuster nicht nur durch die Prüflingsfehler verursacht, sondern auch durch Aberrationen zusätzlicher Optiken in den Interferometerarmen hervorgerufen. Da Prüflinge heute jedoch i. A. nicht mehr anhand visueller Interferenzstreifenmustersbewertung analysiert, sondern durch computergestützte Phasenanalyse bewertet werden, können die Aberrationen der zusätzlichen Optik leicht bei dieser Analyse berücksichtigt werden. Schließlich liefert die Software ein objektives digitales Messergebnis.
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Fizeau-Aufbau
Fizeau Interferometer für Wellenfront- und Oberflächenmessungen
Fizeau-Aufbau
Der am häufigsten verwendete Interferometer-Aufbau
Die letzte Fläche der Interferometeroptik wird als Fizeau-Oberfläche bezeichnet. Sie muss die gleiche Form haben wie der zu messende Prüfling (im Allgemeinen sphärisch oder plan) und ist konzentrisch im optischen Strahlengang platziert, sodass die einzelnen Strahlen die Fizeau-Oberfläche im rechten Winkel durchsetzen. Der größte Teil des Lichts geht durch die Fizeau-Oberfläche und wird an der Prüflingsfläche reflektiert. Dabei wird der Prüflingsflächenfehler als Phasenabweichung der Prüfwellenfront aufgeprägt. Das zurückgeworfene Licht interferiert mit dem Teil des Lichts, der an der Fizeau-Oberfläche reflektiert wurde. Die Fizeau-Oberfläche wirkt also sowohl als Strahlteiler wie auch als Bezugsfläche. Die Kavität, die durch die Fizeau-Ober- und die Prüffläche gebildet wird, enthält somit keine zusätzlichen optischen Elemente, die die Interferenz verfälschen. Dies ist der Grund, warum ein Fizeau-Interferogramm normalerweise die Abweichung des Prüflings von der Bezugsfläche, d. h. der Fizeau-Oberfläche direkt zeigt. Die Qualität der Fizeau-Oberfläche bestimmt die Genauigkeit des Fizeau-Interferometers. Fizeau-Oberflächen stehen gebräuchlicherweise mit einer Qualität von λ/10 – λ/20 PV zur Verfügung, höhere Güten sind auf Anfrage erhältlich.
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