{"id":2739,"date":"2019-09-13T16:33:19","date_gmt":"2019-09-13T14:33:19","guid":{"rendered":"https:\/\/trioptics.com\/de2\/?page_id=2739"},"modified":"2024-04-24T08:39:45","modified_gmt":"2024-04-24T06:39:45","slug":"halbleitertechnik","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/trioptics.com\/de\/maerkte-loesungen\/halbleitertechnik\/","title":{"rendered":"Halbleitertechnik"},"content":{"rendered":"
Der technologische Wegbereiter der Optik<\/p><\/h1><\/div>
Im Hochtechnologie-Segment der Halbleitertechnik liegt unser Augenmerk auf den Beleuchtungsoptiken zur Chipherstellung. Diese gro\u00dfen und besonders pr\u00e4zisen Objektive und Spiegeloptiken arbeiten im UV- bzw. EUV-Bereich. Mit ihren au\u00dfergew\u00f6hnlichen Eigenschaften bereiten sie den Weg f\u00fcr viele andere M\u00e4rkte.<\/p>\n<\/div>
Photonics News, 18. Oktober 2019 – optics.org<\/span><\/p>\n<\/div><\/div><\/div> Die Qualit\u00e4tsanforderungen an Beleuchtungsoptiken zur Chipherstellung sind enorm.\u00a0 Um EUV-Systeme, die ab einem Verkaufswert von\u00a0 100 Millionen US$ vertrieben werden, herzustellen bedarf es w\u00e4hrend des Aufbaus:<\/p>\n<\/div> Genauigkeiten im Nanometer-Bereich oder sogar im Sub-Nanometer Bereich, wenn es um einzelnen Oberfl\u00e4chen geht<\/p>\n<\/div><\/li> Extreme Stabilit\u00e4t und Steifigkeit zur Erzielung einer hohen Wiederholgenauigkeit<\/p>\n<\/div><\/li> Einhaltung eines 6-Sigma Qualit\u00e4tsprozesses bez\u00fcglich der Bedienung und den Spezifikationen<\/p>\n<\/div><\/li><\/ul> Beim Aufbau dieser hochgenauen Objektive werden die einzelnen Linsenelemente sowohl zu Ihrer Fassung als auch zueinander mithilfe der Zentrierpr\u00fcfung ausgerichtet. Eine Verifizierung der Abbildungsqualit\u00e4t erfolgt \u00fcber eine MTF- oder Wellenfrontpr\u00fcfung.<\/p>\n Die Gr\u00f6\u00dfe der Optiken macht den Wechsel zwischen verschiedenen Messsystemen besonders schwierig. Daher ist der Integration Messsysteme in einen effizienten Arbeitsprozess au\u00dferordentlich wichtig.<\/p>\n<\/div>Aufbau von Beleuchtungsoptiken zur Chipherstellung<\/h2><\/div>
Unsere Produkte f\u00fcr die Halbleitertechnik<\/h2><\/div>