Der technologische Wegbereiter der Optik

Im Hochtechnologie-Segment der Halbleitertechnik liegt unser Augenmerk auf den Beleuchtungsoptiken zur Chipherstellung. Diese großen und besonders präzisen Objektive und Spiegeloptiken arbeiten im UV- bzw. EUV-Bereich. Mit ihren außergewöhnlichen Eigenschaften bereiten sie den Weg für viele andere Märkte.

“Die Wahrnehmung für den Massenmarkt ist sehr gering, aber die Technologie hinter den extrem ultravioletten (EUV) Lithografiesystemen, die sich endlich zur Serienproduktion in Chipherstellungsanlagen auf der ganzen Welt entwickeln, sollte als eines der Wunderwerke des modernen Industriezeitalters angesehen werden.”

Photonics News, 18. Oktober 2019 – optics.org

Aufbau von Beleuchtungsoptiken zur Chipherstellung

Die Qualitätsanforderungen an Beleuchtungsoptiken zur Chipherstellung sind enorm. Um EUV-Systeme, die ab einem Verkaufswert von 100 Millionen US$ vertrieben werden, herzustellen bedarf es während des Aufbaus:

Genauigkeiten im Nanometer-Bereich oder sogar im Sub-Nanometer Bereich, wenn es um einzelnen Oberflächen geht
Extreme Stabilität und Steifigkeit zur Erzielung einer hohen Wiederholgenauigkeit
Einhaltung eines 6-Sigma Qualitätsprozesses bezüglich der Bedienung und den Spezifikationen

Beim Aufbau dieser hochgenauen Objektive werden die einzelnen Linsenelemente sowohl zu Ihrer Fassung als auch zueinander mithilfe der Zentrierprüfung ausgerichtet. Eine Verifizierung der Abbildungsqualität erfolgt über eine MTF- oder Wellenfrontprüfung.

Die Größe der Optiken macht den Wechsel zwischen verschiedenen Messsystemen besonders schwierig. Daher ist der Integration Messsysteme in einen effizienten Arbeitsprozess außerordentlich wichtig.