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OptiSurf® PRO AR Broschüre (nur in Englisch)

Precise testing of waveguide stacking

OptiSurf® PRO AR

Prüfung der geometrischen Eigenschaften von AR-Waveguide-Stapeln und plan-optischen Elementen

Das OptiSurf® PRO AR ist ein Messgerät zur Charakterisierung der geometrischen Eigenschaften von einzelnen Waveguides und anderen planoptischen Elementen sowie von gestapelten Waveguides. Gestapelte Waveguides bestehen aus zwei oder drei Elementen und die Verkippung der einzelnen Elemente zueinander kann unerwünschte Farbfehler verursachen. Das OptiSurf® PRO AR misst diese Verkippung mit hoher Genauigkeit. Im Mittelpunkt des Interesses steht dabei die Verkippung der einzelnen Waveguide-Elemente relativ zueinander oder zu einer mechanischen Referenz. Eine weitere wichtige Anwendung ist die Messung der Gesamtdickenvariation über die Fläche des Waveguides, da eine zu große Variation der Dicke den Kontrast des erzeugten Bildes stark reduziert.

Unabhängig davon, ob Sie in der Produktion, Entwicklung oder Qualitätskontrolle von gestapelten Waveguides oder optischen Elementen tätig sind: Das System ermöglicht Messungen der individuellen Mittendicke und der Luftspalte zwischen den Komponenten in einem Stapel mit Submikrometerpräzision. Darüber hinaus werden Verkippung, Oberflächenform und Wölbung direkt in der Software analysiert.

Anwendungen

Die wichtigsten Messanwendungen des OptiSurf® PRO AR sind die folgenden:

  • Zerstörungsfreie Charakterisierung der geometrischen Eigenschaften von einzelnen AR-Waveguides oder planoptischen Elementen: Messung der schwerkraftbedingten Durchbiegung,  2D-Dickenprofil, Gesamtdickenvariation, 1D- und 2D-Waferbiegung, etc.

  • Zerstörungsfreie Charakterisierung der geometrischen Eigenschaften von gestapelten AR-Waveguides, die aus zwei oder mehr Waveguides mit dazwischen liegenden Luftspalten bestehen: 2D-Dickenprofil, Gesamtdickenänderung, 1D- und 2D-Waferbiegung usw. für die einzelnen Waveguides sowie 2D-Neigung und Abstand (Luftspaltdicke) zwischen den Waveguides.

Faktoren, die die Bildqualität beeinflussen:

  • Ungleiche Dicke der Schicht/des Prüflings

  • Luftspalt/Kleber zwischen den gestapelten Schichten

  • Verkippung der Schichten

  • Interne Wölbung der gestapelten Schichten

Software

OptiAngle® 6 and OptiSurf®

  • Professionelle Softwareunterstützung für die Bedienung, die Ausrichtung und den Messprozess.

  • Anpassbare Software-Schnittstelle

  • Verkippung, Oberflächenform und Wölbung werden direkt in der Software analysiert

Technische Daten

ParameterOptiSurf® PRO AR
Geräteabmessungen (H x B x T)1.900 mm x 860 mm x 860 mm
PrüflingsabmessungenMax 200 mm x 200 mm, Höhe max. 100 mm
PrüflingsgewichtMax. 5 kg
Interferometer mit niedriger Kohärenz
Messbereich
Genauigkeit
Wellenlänge der Messung
Dauer der Messung

Bis zu 200 mm
Bis zu 0,15 µm*
1.310 nm
1,4 s pro 10 mm Scanbereich
Motorisierter X/Y-Prüflingstisch
Gier-Nick-Fehler
225 mm x 225 mm
10 Bogensekunden über 100 mm
PrüflingWaveguide, VR Linse, Gestapelter Waveguide, Planoptiken

*) 2σ für die Messung von 100 mm Luftspalt zwischen optischen Flächen

Knowledge Base

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